
压电陶瓷晶片的驱动器/执行器类应用
这类应用是通过施加电压,让晶片产生准确的位移或振动,从而驱动或控制其他部件。
准确定位与控制:
纳米定位台:用于扫描探针显微镜(如STM,AFM)、光学仪器的准确调焦、半导体光刻设备的微动平台,可以实现纳米级精度的移动。
微机电系统:作为MEMS器件的微动力源。
流体控制:
压电喷嘴:喷墨打印机的打印头核心,通过晶片的快速形变将墨滴准确喷出。
压电阀:用于控制微量气体或液体的流量,响应速度非常快。
主动振动与噪声控制:
在航空航天、制造领域,将压电陶瓷片贴在结构件上,通过产生反向振动来主动抵消有害的振动或噪音。
主动光学系统:用于大型天文望远镜,通过实时微调镜面形状来补偿大气抖动造成的图像失真。