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压电陶瓷的特殊应用场景要点
1、高频应用(>1MHz)
需采用超薄电极(<1μm),过厚电极会导致有效场强下降。某超声显微镜案例显示,3μm电极使换能效率降低25%。
2、大功率场合
要配合主动散热,每平方厘米功率超过2W时应加装散热片。某工业超声焊接机因散热不足,连续工作2小时后谐振频率漂移0、8%。
3、精密位移应用
闭环控制时建议采用应变片反馈,开环控制的蠕变误差可达标称位移的5%。某光刻机定位系统引入闭环后,重复定位精度提升至0、01μm。