
压电陶瓷的制备工艺
1.原料配方
主要成分:
PZT(锆钛酸铅):Pb(Zr,Ti)O₃(最常用,高性能)。
BaTiO₃(钛酸钡):早期压电陶瓷,居里温度较低。
无铅压电陶瓷(如KNN、BNT):环保替代品,但性能稍逊。
掺杂改性:
软性掺杂(如Nb⁵⁺、La³⁺)→提高压电性,降低矫顽场。
硬性掺杂(如Fe³⁺、Mn²⁺)→提高机械强度,降低损耗。
2.制备流程
原料混合:氧化物粉末(如PbO、ZrO₂、TiO₂)球磨混合。
预烧合成:800~1000℃煅烧,形成钙钛矿结构。
粉碎造粒:研磨后加入粘结剂(如PVA),压制成型(圆片、方块等)。
烧结:1100~1300℃高温烧结,致密化。
电极制备:表面涂覆银浆或溅射金属电极(如Ag、Au)。
极化处理:施加强直流电场(2~4kV/mm),使电畴定向排列。