PZT压电陶瓷制备的流程介绍
1、坯体制备
采用干压成型的方式制备坯件,干压成型前应先将粉料造粒,即在粉料中加入占料中约5%的黏合剂,搅拌均匀并过筛,再进行预压块,再将预压块研碎并过细筛。造粒的目的不仅使黏合剂更加均匀地分布在粉料中,而且由于颗粒本身已经压紧,压料中空气又少,并较易排出,因此利于成型,成型样品密度更加均匀。
2、瓷件烧结和机械加工
干压成型后的坯件,需要通过高温烧结才能成瓷。烧结是颗粒重排靠近,使材料致密化以及晶粒生长的过程,过高的烧结温度使陶瓷晶粒生长过大或组织结构不均匀,而烧结温度过低则会导致晶粒发育不完全,这些都会导致PZT压电陶瓷元件的压电性能受到影响。
3、上电极
PZT压电陶瓷元件两级间需要有金属电极才能导电,发挥压电性。传统的上电极方法有很多种,如烧渗银层、真空蒸镀、化学沉银和化学沉铜等。
4、极化
PZT压电陶瓷元件上电极后,需要经过极化才能显示压电效应。要使压电陶瓷得到完善的极化,充分发挥其压电性能就要合理地选择极化条件,即极化电场、极化温度和极化时间。只有在极化电场作用下,电畴才能沿电场方向取向排列,极化电场越高,促使电畴取向排列的作用越大,极化就越完善。